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電阻率測量儀是KLA薄膜電阻和導電率測繪系統。從半導體制造到實現可穿戴技術所需的柔性電子產品，薄膜電阻監控對于任何使用導電薄膜的行業都比較重要。

薄膜厚度測量儀薄膜特性：厚度、反射率、透射率、光學常數、均勻性、刻蝕量等；薄膜種類：透明及半透明薄膜，常見如氧化物、聚合物甚至空氣。

微米級橫向定位精度自動化薄膜厚度測繪系統集成了先進的光學、電子和機械模塊，可兼用于對無圖形和圖形薄膜（例如微圖形表面、粗糙表面）進行精確測量 ）。

精簡薄膜厚度測量特性分析系統：FR-ES 機型設計在以較小的占地面積提供涂層表征性能。它廣泛應用于各種不同的測量應用：薄膜厚度、折射率、顏色、透射率、反射率等等。

環境空氣揮發性有機物在線監測系統用于各類揮發性有機物的在線監測。產品配置氫火焰離子化檢測器 FID和質譜檢測器 MSD等不同類型檢測器，適應不同領域的應用需求。

揚塵在線監測系統主要是通過β射線檢測法，不間斷地測量環境空氣中總懸浮顆粒物PM100的濃度。